Co je fotolitografie?
Fotolitografie je jedním z důležitých procesů při výrobě integrovaných obvodů (IC nebo čipů). Jednoduše řečeno, je to proces kopírování vzoru obvodu na substrát pomocí fotomasky a fotorezistu.
Podklad bude natřen na izolační vrstvě oxidu křemičitého a fotorezistu. Fotorezist lze po vystavení UV světlu snadno rozpustit vývojkou, po rozpouštění a leptání zůstane na substrátu obvodový vzor.
Co je fotorezist? Proč musí 500nm UV vlnová délka blokovat?
Fotorezist je kombinován s pryskyřicemi, rozpouštědly a přísadami. Rozsah fotocitlivosti fotorezistu je 200nm-500nm. Proto mnoho polovodičových laboratoří používá žluté světlo, které blokuje 500nm UV vlnovou délku, aby se zabránilo přeexponování nebo předčasnému vystavení fotorezistu.
